Product descriptions
제품소개
OLED 시스템
Stocker (2,200x2,500)
본 장비는 OLED 물류라인의 Glass를 적재하기 위한 장비입니다.
ITEMIZE |
SPECIFICATION |
System |
적재 중인 Glass를 선택적으로 인입,인출이 가능 |
기판재질(Size) |
Glass / 2,200mm x 2,500mm x 0.5~0.7t |
Base Pressure |
2 x 10-5Torr (진공/N2 Vent) |
Pumping Time |
40 sec이내 |
Feature |
Cassette(13단) Up/Down |
