Product descriptions
제품소개
OLED 시스템
P-Aging (2,200x2,500)
본 장비는 OLED 기판에 전기적 Aging을 하기 위한 장비입니다.
ITEMIZE |
SPECIFICATION |
System |
증착 공정이 완료된 Glass의 전극부에 전류를 인가, P-Aging 공정 수행 |
기판재질(Size) |
Glass / 2,200mm x 2,500mm x 0.5~0.7t |
Base Pressure |
2 x 10-3Torr (진공/ATM 반복) |
PumpingTime |
40 sec이내(CA치환) |
Vent Time |
20 sec이내 |
Tact Time |
240 sec |
